CSP 焊球制样厚度的检测

针对 CSP 焊球样品，是需要把目标区域稳定控制到合适层位，并将界面金属间层清楚暴露出来。通过截面观察 CSP 焊球界面金属间层的厚度，可以进一步判断生产工艺是否合格。

这类样品早期通常沿用美国某字母B开头的品牌体系完成冷镶嵌、研磨和抛光，制样方法本身可以完成观察，但整套流程对现场工程师的操作难度较高，随着订单的日益增多，试样量日趋变多。原先的制样流程，很明显跟不上制样的节奏。后来客户转向使用 Grampus Pyros 的树脂、砂纸、抛光布和抛光液重新整理制样方案，目的并不是简单替换品牌，而是希望保持样品在原先准确性的同时，提高整体制样的效率，降低现场工程师的操作难度，把人力成本、产品成本以及时间成本变得更为可控。

客户原先使用的美国某字母B开头的品牌耗材与设置如下：

镶嵌耗材：Epoxy****（9小时固化的环氧树脂）配合25mm直径的模具，进行镶嵌固化。

研磨耗材：SiC： 240(P280）250mm，使用粗颗粒度的碳化硅砂纸进行初步研磨。
                   SiC： 480(P600）250mm，使用中等颗粒度的碳化硅砂纸进行第二道研磨。

抛光耗材：Verdu***抛光布+3um单晶抛光液，使用丝面抛光布配合3微米单晶抛光液进行初抛光。
                  Chemo***抛光布 + 0.05 μm 氧化物抛光液，使用多孔聚酯抛光布和0.05微米的氧化物抛光液做最终的抛光耗材。

研磨设备：Eco***250研磨机进行，初步研磨。

抛光设备：Auto***250 磨抛机进行，第二道研磨，初抛以及终抛。

镶嵌耗材：Grampus Pyros8014（后面简称GP） 或者Grampus Pyros9040-L（后面简称GP） 配合30mm直径的模具，进行镶嵌固化。

推荐理由：在保持样品真实面貌的前提下，尽可能减少镶嵌的时间。GP8014是一款快速固化的亚克力镶嵌树脂，可以按照客户现场的情况或者需求，调整固化时间。而GP9040-L是一款光固化树脂，它不用搅拌，不用配比，只需要直接倒入放置有样品的模具当中，放入光固化设备后即可。全程轻松又高效。30mm模具的选择不仅仅是样品能够多放一些，还能够让样品有更好的支撑力。

研磨耗材：SiC： 800（P2400）300mm，1200（P4000）300mm。做为初磨和中磨的耗材。

推荐理由：初磨和中磨的目的，就是为了要快速磨削掉样品的非观察面，但是砂纸的颗粒度并非越粗越好。既要达到快速磨削的要求，也到对样品表面产生的划痕进行一个统一的修整，为下一步抛光做准备。300mm直径的大尺寸，是让盘面更稳，不容易磨偏。大盘面的扭矩输出更大，研磨的效率能够更快的提高。300mm的盘面更重要的是能够配合全自动磨抛机，得好更均匀平整的样品界面的同时，还可以把中磨的时间大大缩短，甚至控制在1分钟。

抛光耗材：LAMPLAN 2TS3抛光布300mm+3mme单晶抛光液。LAMPLAN的4MP1抛光布300mm+0.05微米L1氧化铝抛光液。

推荐理由：有了前道中磨规整的样品表面，让抛光更容易，效率更高。与此同时，使用LAMPLAM的Masterlam 3.5AIV与自动滴液系统，让整个抛光过程可以实现一键抛光，不仅有效地提高制效率之余，也让现场工程师操作难度大大降低，最大的程度实现自动化抛光。而通过自动滴液系统的辅助，定时定量地将抛光液均匀地滴落在样品的抛光轨迹上，抛光液的作用会得到更充分地发挥。得到了更好抛光效果，也实现抛光成本可控。

研磨设备：Smartlam 3.5EV手动磨机进行，初步研磨。

抛光设备：Masterlam 3.5AIV+自动滴液系统，磨抛机进行，第二道研磨，初抛以及终抛。

推荐理由：初始步骤还是使用手动磨抛，目的就是为了快速地磨削样品的表面。选用Smartlam 3.5EV高效能的版本，就能够更好更轻松地实现。而Masterlam 3.5AIV是新一代的全自动磨抛机，除了拥有动态平衡承载平台，在磨抛过程中保持样品平整，以及微压力自动补偿系统，让样品在抛光过程中保持足够的压力之外，一次性能够抛光6个样品，大大地提高了抛光的效率。

方案解析

从不同倍数的样品效果可以看得出，LAMPLAN制样的结果是达到客户满意的水平。这不仅是提升了样品处理效率，更把整套流程从镶嵌、定位、研磨到抛光的衔接重新理顺。样品能够更快进入可观察状态，前后步骤之间的补救与反复修整明显减少，单件样品在时间、人力与耗材上的综合投入也随之下降，使整体成本更加可控。与此同时，现场工程师在操作过程中，不再需要过多反复判断每一步的停留位置与修整程度，整套流程更容易掌握，结果也更容易稳定复现。最终，在客户满意观察效果的基础上，同时实现了效率提升、成本优化以及现场操作难度的明显下降。